扩展功能:
1.具备恒定输出功率控制功能。
2.可累计输出功率,掉电后可长期保存。
3.可累计输出电流,方便用户计算靶材损耗;并可预置电流X时间输出控制。
4.具备RS485通讯接口功能,方便与PLC或工控计算机实现**传输,实现全自动控制。
5.可预置输出值。
6.智能报警功能,当输出值与设定值有偏差时,通过声光报警提醒用户。
7. 开机密码保护功能,可限制无关人员使用本机器。
8.多级输出功能。可设定在不同时间段输出不同的电流、电压或功率值。
9.大屏幕液晶中文显示,界面友好,操作方便。
本公司是个专业生产和营销大功率磁控溅射电源的企业公司,主要经营:真空蒸发镀膜电源、中频磁控溅射电源、脉冲磁控溅射电源、直流磁控溅射电源、偏压电源等等。
本公司*生产的磁控溅射电源,成功地运用了优异的脉宽调制技术(PWM),引进三菱、富士等国际的MOSFET、IGBT执行元件,大功率机器采用结构均流技术,并配以各种完善的保护功能,使得高频开关电源可靠性问题得到了圆满解决,满足低纹波要求,而且体积小、重量轻、节能环保,是一种性价比优异的电源产品,是可控硅整流电源的理想替代品。
比较项目 昊源镀膜电源 传统镀膜电源
逆变器件 采用进口大功率IGBT模块,如德国英飞菱,日本富士、三菱等,器件性能好,可靠性高 部分厂家采用小功率MOSFET并联方式,器件数量多,耐冲击能力低,维修维护困难
整流器件 采用进口大功率快恢复二极管,额定电流达60A,输出整流单元电路简洁,抗过流能力强。 由多级快恢复二极管组成,输出整流单元布置复杂,抗过流能力弱。
主变压器 主变压器铁芯采用纳米晶铁磁材料,励磁电流小,磁性能优异,损耗小。 主变压器铁芯采用铁氧体材料,励磁电流大。
内部结构 散热器按照镀膜电源特点设计,功率及控制回路经过反复优化改进,内部结构简洁、整齐。 器件选型等因素导致内部连线复杂。维护检修困难。
防腐防尘 控制板件均采取防护措施,防腐能力强。 防护措施简单,防腐能力较弱。
冷却系统 水冷或强迫风冷可选 只可以提供一种冷却方式
保护功能 采用*特的双过流保护措施,确保电源快速保护;增加过热保护功能增强了电源运行的可靠性。 保护功能不全,对于电源运行中发生的异常状态不能提供及时保护。
控制功能 配置了计算机控制系统,易于按客户要求配置自动控制扩展功能,提高了电源使用效率;配置了液晶屏,各种参数显示齐全,便于用户分析炉体内部工况。 模拟显示基本参数。
维修维护 功能控制板模块化,采用插拔式连接,易于检修维护计更换,通过简易培训用户可自行维护。 焊接连接方式多,主体结构分层式布置,检修困难,非专行专业人员无法维修。
昊源镀膜电源还采用了一些可显著提高电源性能、改善操控性能的技术措施,包括双重灭弧技术、打弧次数自动计数技术及脉冲电位器技术。双重灭弧技术是指系统在二级逆变电路中分别设置了灭弧电路,灭弧效率大大提高。自动记录打弧次数有利于用户分析镀膜效果,采用脉冲电位器则大大提高了器件操作的寿命及操作便利性。